Laserscanningmikroskop

Beschreibung

Mit dem Laserscanningmikroskop VK-X110 der Firma Keyence ist es unter anderem möglich Profile und Rauigkeiten zu bestimmen. Es können tiefenscharfe Bilder aufgenommen werden. Das Lichtmikroskop zeichnet dabei optische Bilder in verschiedenen Höhen (Abstand zur Probe) auf und setzt diese zusammen, so dass nicht nur die eine aktuelle Bildebene im Fokus steht und scharf abgebildet wird, sondern nach Möglichkeit die ganze Probe. Die Bauweise und Betriebsart dieses Mikroskops erlaubt ausschließlich Auflichtmikroskopie.

Zusätzlich dazu wird die Oberfläche mittels Laser (roter Laser,  = 658 nm, 0,95 mW) vermessen und über die Laufzeiten des Laserlichtes Höhendaten gewonnen. Somit ist es möglich ein Oberflächenprofil mit hoher Auflösung aufzunehmen. Das Laserlicht wird dabei ebenfalls durch das Objektiv des Mikroskops geführt.

Es werden auf derselben Fläche sowohl ein optisches Bild, mit allen Farbinformationen, als auch Höhendaten mittels Laser gemessen. Zusammengesetzt ergeben sie ein 3-D-Bild der Probenfläche mit hohem Kontrast. Die gemessenen Höhendaten können vielfältig mit der entsprechenden Software ausgewertet werden, zum Beispiel durch Profil- und Rauigkeitsmessung.

Zusätzlich ist es möglich bei geeigneten Proben zerstörungsfrei Schichtdicken von z.B. Lacken zu bestimmen. Die Messdaten können aufgelöst werden in verschiedene Ebenen, die das Laserlicht durchdringen konnte. Bei bekannten Schichteigenschaften (Brechungsindex) lassen sich die Schichtdicken bestimmen. Bei zuvor bekannter Schichtdicke – z.B. durch Profilometrie - kann man auf den Brechungsindex der Schicht zurückschließen.

Technische Daten

  • Verschiedene Objektive für unterschiedliche Vergrößerungen
  • Aufnahme tiefenscharfer Bilder
  • Hochpräzise Höheninformationen mittels Lasermessung
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Dipl.-Ing. Sven Schulze
Wissenschaftlicher Mitarbeiter

Tel.: +49 5323 72-6271
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